200mm 碳化硅衬底厚度与外延厚度的多维度影响
judy -- 周一, 02/09/2026 - 10:27
文章探讨了 Wolfspeed 在碳化硅衬底的成本、可扩展性和质量等最严峻挑战方面的研究,包括了碳化硅外延和衬底厚度如何影响高电压器件。

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