第10讲:SiC的加工工艺(2)栅极绝缘层
judy -- 周五, 11/22/2024 - 14:36
栅极氧化层可靠性是SiC器件应用的一个关注点。本节介绍SiC栅极绝缘层加工工艺,重点介绍其与Si的不同之处。
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