MEMS

MEMS器件具有重量轻、体积小、成本低、功耗小等优点，非常有利于MEMS器件在电信和消费电子等行业中的应用。

博文重点介绍了基于不同材料平台的5G通信和物联网（IoT）用兰姆波器件的最新进展，并对该技术未来发展趋势进行了展望。

该系列产品将传统导航激光雷达中的旋转装置芯片化，具有高分辨率、高可靠性、低成本、小尺寸、易集成等优势，主要应用于激光雷达、激光打印以及机器视觉等领域。

这项研究采用搭载了单片集成128 × 128像素MEMS FPSA（引线键合128 × 96子阵列，并经过了实验测试）的硅光子调频连续波（FMCW）成像激光雷达，最终分辨率达到16384像素。