FinFETs

金属栅极凹槽轮廓对晶体管电阻和电容的影响

本文中,我们来看一下使用 SEMulator3D®虚拟实验设计来预测不同栅极关键尺寸、金属栅极凹槽深度和金属栅极凹槽轮廓下的电阻和电容的结果