金属布线

半导体前端工艺:第六篇(完结篇):金属布线 —— 为半导体注入生命的连接

在前几篇文章中,我们详细讲解了氧化、光刻、刻蚀、沉积等工艺。经过上述工艺,晶圆表面会形成各种半导体元件