敏芯股份:构筑传感矩阵,驱动MEMS压感技术跨越应用边界
judy -- 周二, 05/12/2026 - 15:26
敏芯MEMS压感传感器主要为电阻型:在硅上沉积四个电阻形成惠斯特电桥,当按压器件时,应力使四个电阻发生变形进而发生阻值变化,通过阻值的变化反馈按压力的大小。

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