村田发布下一代6轴MEMS惯性传感器SCH16T-K01
judy -- 周三, 01/17/2024 - 10:16
村田（Murata）近日发布了一款新的6轴MEMS惯性传感器SCH16T-K01，可实现高精度机器控制和定位应用。
惯性传感器
基于硅纳米波导倏逝场耦合的超紧凑光学式MEMS加速度计
judy -- 周一, 12/26/2022 - 15:27
近些年，MEMS加速度计因其体积小、功耗低、易于与互补金属氧化物半导体晶体管集成电路（CMOS IC）整合而受到持续关注