羰基硫（COS）常温下为无色气体，带类似臭鸡蛋的气味，是大气中含量最丰富的含硫气体之一；分子呈直线型，结构与CO₂相似，仅以一个硫原子替换了氧原子。COS有毒且易燃，与空气混合可形成爆炸性混合物，遇明火、高热燃烧还会释放二氧化硫。因此无论作为工艺气体还是化工原料，在生产、储运、使用的全链条中，对COS浓度的精准监测都是安全生产与职业健康的核心环节。
【COS在半导体工艺中的风险与检测】
在半导体领域，COS主要用作薄膜沉积和干法刻蚀的工艺气体。
薄膜沉积中，它可作为硫源制备CdS、MnS等含硫半导体薄膜，也可通过MOCVD在硒化物层上沉积硫，形成Ge-Se-S等三元硫族化合物。干法刻蚀中，COS主要作添加剂改善刻蚀形貌与选择性：刻蚀多晶硅时，其解离出的硫可形成C-S键侧壁聚合物，抑制侧蚀和图案翘曲（流量比15%~35%效果较好）；H₂/COS等离子体预处理光刻胶可降低线宽粗糙度；还可用于某些循环沉积工艺作氧化剂，或在含铝化合物半导体刻蚀中保护侧壁。
但COS有毒且易燃易爆，急性暴露危害健康，泄漏遇明火或高热可能燃烧爆炸并释放SO₂。传统检测中，电化学器件寿命短、易受交叉干扰，实验室色谱难以现场实时监测；NDIR技术因无耗材、无氧依赖、抗中毒、选择性好，已成为COS检测的主流方案。
【0~100ppm全覆盖的羰基硫高精度传感】
LARK-1QMB COS是诺联芯针对含硫工艺气体监测需求，推出的一款高性能红外羰基硫传感器，其核心量程为0~100ppm，专为半导体工艺与工业场景的羰基硫检测设计。产品主要特点如下：
- 线性好，R^2达到0.9996，全量程绝对误差 < 3ppm；
- 分辨率好，小于500ppb；
- 对CO2交叉响应小；
- 1小时内，6次重复性，绝对值可以控制在3ppm以内。
【从单点监测到构筑全流程感知基础】
诺联芯LARK-1QMB COS传感器针对传统方案痛点而生，广泛适配半导体薄膜沉积、干法刻蚀及含硫气体安全监测等复杂工况，为COS全流程浓度监测提供稳定可靠的传感方案。对上游，精准的COS浓度监控直接关系硫源供给、刻蚀与沉积工艺稳定及器件良率；对中游，意味着更低的巡检频次与更高的泄漏预警效率，守护一线员工职业健康；对下游，则为安全评估、环保合规与应急决策提供坚实依据。
展望未来，国内半导体产能持续扩张、先进制程对含硫工艺气体需求不断提升、职业健康监管日趋完善，多重因素将持续拉高性能气体传感器的需求。高性能气体传感器将成为监测终端的核心传感元件，筑牢产业链安全感知防线，为产业发展浪潮保驾护航。
文章来源：敏芯股份