<p>碳化硅(SiC)是一种宽带隙半导体,其带隙宽度为3.26eV,远高于硅(Si)的带隙宽度(=1.12eV)。SiC具有较高的击穿电场和较高的热导率,这是由于它具有较低的晶格常数(即较短的原子间距离)从而具有较高的原子键。</p>
<p data-navititle="Si和SiC的物理性质比较 "><strong>Si和SiC的物理性质比较</strong></p>
<p data-navititle="Si和SiC的物理性质比较 "><img alt="Si和SiC的物理性质比较" data-entity-type="file" data-entity-uuid="cfa14fde-8386-4f40-86ea-e1b395c2b1aa" src="/sites/default/files/inline-images/Si%E5%92%8CSiC%E7%9A%84%E7%89%A9%E7%90%86%E6%80%A7%E8%B4%A8%E6%AF%94%E8%BE%83.PNG" /></p>
<p>当具有传统结构的SBD反向偏压时,耗尽区将延伸到半导体中,如下所示。由击穿电场和耗尽区宽度形成的三角形区域代表SBD耐受电压。耗尽区深度与掺杂浓度成反比。提高掺杂浓度有助于降低硅的电阻,从而降低SBD正向电压(V<sub>F</sub>),但要牺牲耐受电压(即三角形区域)。碳化硅的击穿电场几乎是硅的10倍。因此,如下图所示,即使SiC SBD是重掺杂的,也可以增加SiC SBD相对于Si SBD的耐受电压(即三角形区域)。</p>
<img alt="碳化硅" data-align="center" data-entity-type="file" data-entity-uuid="afad75a9-00d3-4b9c-958a-5f2162e3a0b3" src="/sites/default/files/inline-images/%E7%A2%B3%E5%8C%96%E7%A1%85.jpg" />
<p>此外,由于耗尽层因较高浓度而拉伸较小,因此芯片的厚度将小于采用Si的情况。半导体(Si或SiC)的厚度可以看作是正向的串联电阻,因此可以通过减小厚度来提高正向电压。</p>
<p>文章来源:<a href="https://toshiba-semicon-storage.com/cn/semiconductor/product/diodes/sic…;