<p><strong>何谓压电？</strong></p>
<p>压电表示压电元件（Piezoelectric Element、Piezoelectric Device），压电元件是指通过施加力（压力）产生电压（压电效应），或与之相反，通过施加电压产生变形（逆压电效应）的元件。</p>
<p><img alt="压电的效果" data-entity-type="file" data-entity-uuid="c3eb4874-9f11-4b64-9994-34ee052a203d" src="/sites/default/files/inline-images/%E5%9B%BE1_28.jpg" /></p>
<p><strong>压电的效果</strong></p>
<p>压电元件使用具有压电效应的压电材料。施力时，（+）正离子、（-）负离子的位置会移动，产生（+）和（-）电荷的偏移（电极化），从而产生电压。</p>
<p><img alt="电极化的原理 通过电极化产生电压" data-entity-type="file" data-entity-uuid="2cacf67c-a08f-409d-9696-e5dae8fa6596" src="/sites/default/files/inline-images/%E5%9B%BE2_34.jpg" /></p>
<p>利用压电效应的主要用途是传感器，利用逆压电效应的主要用途是执行机构。</p>
<p><strong>压电材料的种类</strong></p>
<p>压电材料大致分为单晶、陶瓷、薄膜等。</p>
<p><img alt="压电材料的种类" data-entity-type="file" data-entity-uuid="966b2eaf-131b-48ff-bf05-a82d17aa47d5" src="/sites/default/files/inline-images/%E5%9B%BE3_30.jpg" /></p>
<p><strong>压电的材料</strong></p>
<p>罗姆采用的是使用锆钛酸铅（PZT）的薄膜压电。<br />
PTZ取自元素符号（PbZrxTi1-xO3）（0<x<1）的首字母，压电性能非常强，称得上是压电元件的主角。</p>
<p><strong>薄膜压电和块体压电</strong></p>
<p>大致将厚度约为几μm的叫作薄膜压电（压电薄膜），几十μm以上的叫作块体压电（厚膜压电）。<br />
利用薄膜压电可以实现元件的小型化、集成化、高精度化、低功耗化。</p>
<p><strong>薄膜PZT的成膜方法</strong></p>
<p>生成薄膜PZT的方法有溶胶凝胶法、溅射法、MOCVD法等。下表汇总了其各自的特点。</p>
<p><img alt="薄膜PZT的成膜方法" data-entity-type="file" data-entity-uuid="09e52792-a59f-47c1-b1e4-529e52275bd7" src="/sites/default/files/inline-images/%E5%9B%BE4_10.PNG" /></p>
<p>文章来源：罗姆官网</p>