MEMS压感传感器

敏芯MEMS压感传感器主要为电阻型：在硅上沉积四个电阻形成惠斯特电桥，当按压器件时，应力使四个电阻发生变形进而发生阻值变化，通过阻值的变化反馈按压力的大小。