刻蚀

半导体前端工艺(第四篇):刻蚀——有选择性地刻蚀材料,以创建所需图形

本文讲讲如何采用这个“饼干模具”印出我们想要的“饼干”。这一步骤的重点,在于如何移除不需要的材料,即“刻蚀(Etching)工艺”。